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該設(shè)備是一款小型磁控濺射鍍膜儀，主要特點是設(shè)備體積小，結(jié)構(gòu)簡單緊湊易于操作，對實驗室供電要求低；該系列設(shè)備主要部件采用進口或者國內(nèi)最優(yōu)的配置，從而提高設(shè)備的穩(wěn)定性；另外自主開發(fā)的智能操作系統(tǒng)在設(shè)備的運行重復(fù)性及安全性方面得到更好地保障。該設(shè)備標(biāo)配2只φ2英寸永磁靶，一臺500w直流濺射電源（用于濺射金屬導(dǎo)電材料），1臺300w全自動匹配射頻濺射電源（用于
更新時間:2025-05-16
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