cryo-plex16低溫泵是一種高容量低溫泵,具有成熟的雙級冷頭設計(吉福德/麥克馬洪原理)高抽速捕捉水蒸汽和氣體,實現(xiàn)無油,高和超高真空。cryo-plex16低溫泵是專為大型真空應用,可靠性,性能和容量是非常重要的。主要特點與優(yōu)勢單臺低溫泵解決方案單獨一臺cryo-plex16低溫泵即可滿足容量和性能要求的許多大腔室應用。單臺低溫泵解決方案簡化了安裝和維護,提高工作效率和降低總成本,使cryo-plex16成為低溫泵箱涂層系統(tǒng),空間模擬室和電子束鍍膜系統(tǒng)的最佳解決方案。
更新時間:2025-06-25