1、儀器規(guī)格參數
1.1 金屬臺尺寸：408×308mm
1.2 外形尺寸：890×620×1077mm
2.3 運動行程： X坐標行程 250mm Y坐標行程 150mm Z坐標行程 250mm（調焦）
1.4 擺動范圍：+-15（繞Y軸旋轉）
1.5 儀器重量：200Kg
1.6 X、Y、Z數顯解析度：0.0005mm
1.7 X、Y坐標示值誤差：≤（3+L/200）μm
| 儀器配件 | 1.0X鏡筒（標配） | 0.5X鏡筒（選配） | 工作距離 | ||
| 變焦鏡 | 0.7~4.5X | 0.7~4.5X | |||
| 附加鏡 | 視頻倍率 | 物方視場 | 視頻倍率 | 物方視場 | |
| 0.5X（選） | 15~115X | 14~2.2mm | 7.5~57.5X | 28~44mm | 189mm |
| 標配1.0X | 30~230X | 7.0~1.1mm | 15~115X | 14~2.2mm | 108mm |
| 2.0X（選） | 60~460X | 3.5~0.6mm | 30~230X | 7.0~11mm | 38mm |